離子氮化作為七十年代興起的一種新型滲氮方法與一般的氣體滲氮相比，離子滲氮的特點是：

..點：滲氮速度較快，可適當縮短滲氮周期，離子氮化時間短，能縮短到氣體氮化時間的1/3～2/3。

第二點：滲氮層脆性小，離子氮化表面形成的白層很薄，甚至沒有，另外引起的變形小，特別適宜于形狀復雜的精密零件。

第三點：真空離子滲氮爐可節(jié)約能源和氨的消耗量，電能消耗為氣體氮化的1/2～1/5，氨氣消耗為氣體氮化的1/5～1/20。且易于實現(xiàn)局部氮化，只要設法使不欲氮化的部分不產生輝光即可，非滲氮部位便于保護，采用機械屏蔽、用鐵板隔斷輝光，即可保護。

第四點：離子轟擊有凈化表面作用，自動去除鈍化膜，不銹鋼、耐熱鋼材料無需預先去除鈍化膜，可使不銹鋼、耐熱鋼工件直接滲氮。勞動條件有所改善，無公害、離子滲氮處理在很低的壓力下進行，排出的廢氣極少。氣源為氮氣、氫氣和氨氣，基本上無有害物質產生。

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